Kwaliteit en efficiëntie bij de productie van zeldzame gassen
Zeldzame gassen worden zo genoemd omdat ze in zeer kleine hoeveelheden in de lucht aanwezig zijn.
Xenon is zeldzaam met slechts 90 gram van de 1 miljoen kilo van de atmosfeer van de aarde. Het wordt alleen commercieel gewonnen uit grote luchtscheidingsinstallaties die meer dan 1.000 ton zuurstof per dag produceren.
Air Products beschikt over efficiënte zuiveringstechnologieën die nodig zijn om onzuiverheden zoals argon en stikstof, die zeer inert zijn, te verwijderen.
We vullen zeldzame gassen in cilinders in onze ultrazuivere fabrieken in Azië voor gebruik in hoogwaardige industriële segmenten.
Xenon voor de productie van halfgeleiders en geheugenchips
Xenon wordt gebruikt voor het etsen en afzetten van microchips in de halfgeleiderproductie, zowel als atmosfeer, plasma en als ionenbundelbron voor ets- en afzettingsprocessen. Xenon dat in dit proces wordt gebruikt, moet zeer zuiver zijn, omdat onzuiverheden uiteindelijk het siliciumsubstraat verontreinigen of reageren met chemicaliën in het proces, zoals fluor, om giftige en zeer corrosieve waterstoffluoride (HF) te produceren. Als toonaangevend bedrijf in de elektronica-industrie wordt het xenon van Air Products geproduceerd in onze ultramoderne elektronicakwaliteitsinstallatie voor een betere kwaliteitsborging. Het kan worden gebruikt in excimerlaser, laser buffer gassen, etsen van DRAM en 3D NAND en plasmaschermen.
Geïntegreerde levering van gassen
Van grote luchtscheidingsinstallaties tot ultrazuivere 6.0-gassen, Air Products biedt flexibele leveringsopties om aan al uw behoeften te voldoen.
Vragen? We hebben antwoorden.
SDS Bibliotheek
Met onze bibliotheek met veiligheidsinformatiebladen (SDS) kunt u het veiligheidsinformatieblad zoeken en vinden dat u nodig hebt, in de taal die u selecteert.